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        產品詳情
        • 產品名稱:高效柜式微波等離子系統

        • 產品型號:MWD 70
        • 產品廠商:中科光智
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        結構型設計 適用于批量生產 具有專業的PLC 控制系統和windows控制 可選微波源頂裝或側裝 可選基片盤旋轉、水冷、升降功能
        詳情介紹:


        簡單介紹

        產品簡介


        全功能型立柜系統:適用于批量生產,PLC 圖形化觸控操作系統

        配置選項

        ?真空系統                                ?額外工藝氣路
        ?物料工件旋轉臺                      ?清洗擱架
        ?頂/側裝微波源                       ?軟啟動和慢速充氣

        ?法拉第網                                ?推拉門/鉸鏈門

        產品特點

        ?無損傷等離子清洗                  ?清洗溫度低

        ?無電極濺射污染                      ?可清洗細小孔洞和縫隙

        ?易于操作的圖形化界面

        技術參數

        外形尺寸 :             W860 x H1860 x D950 mm 

        腔體內部尺寸:       W425 x H365 x D465mm

        微波功率:              2.45 GHz,100-1000W 可調

        工藝氣路:              標準2 路,包括質量流量計和控制電磁閥等

        真空接口:            DN40 KF

        電源:                    380V, 50 / 60 Hz  4.3KW 含真空泵

        控制單元:           觸摸屏PLC控制

        真空規:                Pirani真空計或電容式薄膜壓力規

        主要應用:          材料表面有機污染物去除、表面活性增強及氧化物還原


        產品詳情














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